洁净级别 |
尘粒最大允许数 |
微生物最大允许数 |
ISO级数 |
||
≥0.5μm |
≥5μm |
浮游菌/m³ |
尘降菌/皿 |
||
100级 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5级 |
100级 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5级 |
100级 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5级 |
100级 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5级 |
洁净等级 |
百级 | 千级 | 十万级 | 三十万级 |
≥0.5μm(个/m³) | ≤3500 | ≤35000 | ≤350000 | ≤1050000 |
≥0.5μm(个/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
≥0.5μm(个/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
≥0.5μm(个/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
静压差 | 相邻不同级别空间的静压差绝对值应>5pa;洁净室与室外的静电差>10pa | |||
照度 | 一般宜为300LX,若工艺上有特殊要求则照工艺要求 | |||
噪音 | ≤65db(A) | |||
温度 | 一般为18℃~26℃ | |||
相对湿度 | 一般为45%~65% | |||
换气次数 | ≥100(次/h) | ≥50(次/h) | ≥20(次/h) | ≥10(次/h) |